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在啟動致研科技定制的這臺實驗儀器——真空鍍膜機之前,需要先進行檢查和調(diào)試,確保沒有問題之后再進行接下來的操作。
具體步驟參考如下 1.檢查設(shè)備接地是否可靠,電氣部分是否正確。
2.取下電機上彈性聯(lián)軸器,啟動電機,檢查電機運轉(zhuǎn)方向與真空泵殼體旋轉(zhuǎn)箭頭方向是否一至,然后再裝上聯(lián)軸器。
3.檢查真空泵運轉(zhuǎn)方向與箭頭方向是否一致(詳見真空泵使用說明書)。
4.檢查有關(guān)部件的連接螺釘是否擰緊,特別是真空系統(tǒng)的連接螺釘。
5.檢查各轉(zhuǎn)動機構(gòu)的傳動是否靈活,有無卡滯。
6.打開蒸發(fā)室,對蒸發(fā)室內(nèi)壁和內(nèi)部零件進行清潔,檢查蒸發(fā)室內(nèi)各電極接線是否正確。尤其注意電阻蒸發(fā)電極是否與防污板相碰。
7.對蒸發(fā)室試抽真空,檢查是否能達到應(yīng)達到的真空指標(biāo)。 |
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